İnce filmlerde plazma tabanlı iyon aşındırma ve Au filme uygulanması


Tezin Türü: Yüksek Lisans

Tezin Yürütüldüğü Kurum: Atatürk Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsü, Nanobilim ve Nanomühendislik Anabilim Dalı, Türkiye

Tezin Onay Tarihi: 2014

Tezin Dili: Türkçe

Öğrenci: Melik GÜL

Asıl Danışman (Eş Danışmanlı Tezler İçin): Hasan Efeoğlu