SILAR yöntemiyle elde edilen ince filmlerin devre elemanı yapımında kullanılması ve bu yapıların karakteristiklerinin incelenmesi

---

Sağlam M. (Yürütücü), Ateş A.

TÜBİTAK Projesi, 1001 - Bilimsel ve Teknolojik Araştırma Projelerini Destekleme Programı, 2008 - 2011

• Proje Türü: TÜBİTAK Projesi
• Destek Programı: 1001 - Bilimsel ve Teknolojik Araştırma Projelerini Destekleme Programı
• Başlama Tarihi: Kasım 2008
• Bitiş Tarihi: Kasım 2011