SILAR yöntemiyle elde edilen ince filmlerin devre elemanı yapımında kullanılması ve bu yapıların karakteristiklerinin incelenmesi
Sağlam M. (Yürütücü), Ateş A.
TÜBİTAK Projesi, 2008 - 2011
-
Proje Türü:
TÜBİTAK Projesi
-
Başlama Tarihi:
Kasım 2008
-
Bitiş Tarihi:
Kasım 2011