RF Cosputter Radyo Frekans Tekniği kullanılarak Sn kalay Mo molibden ve Cu bakır katkılı Nikel Oksit NikelKrom Oksit Yarıiletken İnce Filmlerinin Büyütülmesi Elde Edilen Filmlerin Sıcaklığa Bağlı Elektriksel ve Manyetik Özelliklerinin İncelenmesi


GÜR E., KUNDAKÇİ M., YILDIRIM M.

Project Supported by Higher Education Institutions, 2020 - 2022

  • Project Type: Project Supported by Higher Education Institutions
  • Begin Date: June 2020
  • End Date: July 2022

Project Abstract


Bu projenin amacı, RF (radyo frekans ) Magnetron Sıçratma (Magnetron Sputtering) tekniği ile üç target kullanarak  Sn (kalay), Mo (molibden)  ve Cu (bakır)  katkılı nikel oksit, nikel-krom oksit yarıiletken ince filmlerini büyütmek, elde edilen filmlerin elektriksel ve manyetik özelliklerini incelemektir. Bu projede, büyütülen numunelerin yapısal özelliklerinin belirlenmesi için X-Işını Kırınımı (XRD) ve Soğurma ölçümleri ile Taramalı Elektron Mikroskobu (SEM), X-Işını Fotoelektron Spekroskopisi (XPS) ve Atomik Güç Mikroskopi (AFM) görüntülerinin ve film kalınlıkları (Profilometre)  Atatürk Üniversitesi Doğu Anadolu Yüksek Teknoloji Araştırma Merkezi’nden (DAYTAM) ve Atatürk Üniversitesi Fen Fakültesi Fizik Bölümü Kristal Büyütme Laboratuvarı’ndan alınacaktır. Yapısal, optik ve morfolojik özellikleri incelenen filmlerin elektriksel özellikleri, yine Atatürk Üniversitesi Fen Fakültesi Fizik Bölümü Kristal büyütme Laboratuvarı’nda bulunan sıcaklığa bağlı Hall ölçüm cihazı ile incelenecektir. Yine üniversitemiz bünyesinde alınması planlanan VSM (Titreşimli Numune Manyetometresi) cihazı ile tüm manyetik özelliklerinin incelenmesi amaçlanmaktadır.
Yapılan çalışmalar bu konuda yapılacak olan ilk çalışmalardan olup, araştırmaları yapılan oksit tabanlı bu ince film yarıiletken malzemeler bundan sonraki çalışmalar için oldukça önemli katkılar sağlayacaktır.