RF magnetron sıçratma yöntemi kullanılarak Bi2O3 ince film büyütmede alttaş ve güç değişikliğinin filmlerin yapısal özelliklerine etkisi


Nagehan Ş., AKALTUN Y., GÜR E. , SARITAŞ S.

2nd International Eurasian Conference on Science, Engineering and Technology (EurasianSciEnTech 2020, Gaziantep, Turkey, 7 - 09 October 2020, pp.1064-1069

  • Publication Type: Conference Paper / Full Text
  • City: Gaziantep
  • Country: Turkey
  • Page Numbers: pp.1064-1069