Azot gazı akışının rolü üzerine bir çalışma: RF magnetronsaçtırmayla üretilen 푮aN/풑 − 푺İ ince filmlerin karakterizasyonu

MANTARCI A., KUNDAKÇİ M.

1st INTERNATIONAL ENGINEERING AND TECHNOLOGY SYMPOSIUM, 3 - 05 Mayıs 2018

  • Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
  • Atatürk Üniversitesi Adresli: Evet