Deep Learning for Robust Defect Detection in SEM Wafer Images under Imbalanced Data Distribution

Kılıç R., Sağlam H. K.

2nd International Congress on Science and Technology (ICSAT 2026), Erzurum, Türkiye, 7 - 09 Mayıs 2026, ss.133-137, (Tam Metin Bildiri)

  • Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
  • Basıldığı Şehir: Erzurum
  • Basıldığı Ülke: Türkiye
  • Sayfa Sayıları: ss.133-137
  • Atatürk Üniversitesi Adresli: Evet