Sabit Azot Akışında HiPIMS ile Kaplanmış B4C Filmlerin Adezyon ve Tribolojik Özellikleri Üzerinde Artan Görev Süresi ve Hedef Voltajın Etkisi


dayauç a. k., efeoglu i.

Erzincan Üniversitesi Fen Bilimleri Enstitüsü Dergisi, cilt.18, sa.2, ss.631-638, 2025 (Hakemli Dergi) identifier

Özet

Mekanik, tribolojik ve kimyasal özellikleri nedeniyle nitril bazlı filmler endüstriyel uygulamalar için çok önemlidir. Nitrür bazlı filmler arasında c-BN filmler çok iyidir. Bununla birlikte, farklı güç kaynakları ile manyetik alan saçtırma kullanılarak sentezlenen c-BN filmlerin yapışma özellikleri, ultra yüksek sertlik değerlerine ulaşıldığında sıklıkla yetersiz kalmaktadır. Kaplamaların yapışmasını artırmak için son zamanlarda Yüksek Güçlü İmpuls Manyetik Alan Püskürtme (HiPIMS) güç kaynakları kullanılmaktadır. HiPIMS tekniği kullanılarak bu çalışmada 4140 çelikler, sabit N2 akışında c-BN filmleri kaplayarak hedef voltaj ve görev süresini artırmıştır. c-BN filmlerin yapısal özelliklerini incelemek için SEM ve FT-IR analizleri, mekanik özelliklerini incelemek için mikrosertlik ve çizilme testleri ve tribolojik özelliklerini belirlemek için pin-on-disk tribo testleri kullanılmıştır. Testler sonucunda, artan görev süresi ve hedef voltajda film kalınlığı artarken, sertlik değeri ve kritik yük değeri azalmıştır. Ayrıca sürtünme katsayısı artan görev süresi ve hedef gerilim ile azalmıştır.
The mechanical, tribological, and chemical characteristics of nitride-based coatings make them crucial for industrial applications. C-BN films have better qualities than other nitride-based films. However, when ultra-high hardness values have been achieved, the adhesion characteristics of c-BN films produced by magnetic field sputtering with various power sources are often inadequate. High Power Impulse Magnetic Field Sputtering (HiPIMS) power sources have been applied recently to improve coating adhesion. In this study, c-BN films were coated on 4140 steels at increasing duty time and target voltage at constant N2 flow using HiPIMS technique. SEM and FT-IR analyses were performed to investigate the structural properties of c-BN films; microhardness and scratch tests were performed to investigate their mechanical properties; pin-on-disk tribo test was performed to determine their tribological properties. As a result of the tests, the film thickness increased with increasing duty time and target voltage, while the hardness value and critical load value decreased. In addition, friction coefficient decreased with increasing duty time and target voltage.