RF magnetron saçtırma tekniğiyle üretilen 푮aN/풑 − 푺İ (ퟏ00) incefilmlerin fiziksel özellikleri: Argon gazı akış etkileri

MANTARCI A., KUNDAKÇİ M.

1st INTERNATIONAL ENGINEERING AND TECHNOLOGY SYMPOSIUM, 3 - 05 Mayıs 2018, (Tam Metin Bildiri)

  • Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
  • Atatürk Üniversitesi Adresli: Evet