Optimization of InP ICP-RIE Etching Processes Using Different Gas Mixtures

Aksakal R., Çakmak B.

25. Ulusal Optik, Elektro-Optik ve Fotonik Çalıştayı, Ankara, Türkiye, 13 Eylül 2024, ss.1

  • Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
  • Basıldığı Şehir: Ankara
  • Basıldığı Ülke: Türkiye
  • Sayfa Sayıları: ss.1
  • Atatürk Üniversitesi Adresli: Evet