RF magnetron saçtırmalı 푮aN/풏− 푺İ (ퟏ00) ince filmlerin fizikselözellikleri ve büyümesi: Azot gaz akış bağımlılığı

1st INTERNATIONAL ENGINEERING AND TECHNOLOGY SYMPOSIUM, 3 - 05 Mayıs 2018, (Tam Metin Bildiri)