GRAFİT KATI YAĞLAYICI FİLMLERİN PLAZMA DESTEKLİ KİMYASAL BUHAR BİRİKTİRME (CVD) YÖNTEMİYLE ÜRETİLMESİ VE KARAKTERİZASYONU

---

Tezin Türü: Yüksek Lisans

Tezin Yürütüldüğü Kurum: Atatürk Üniversitesi, Mühendislik Fakültesi, Makine Mühendisliği, Türkiye

Tezin Onay Tarihi: 2021

Tezin Dili: Türkçe

Öğrenci: HİLAL ÖZGE ÖZER

Danışman: Ayhan Çelik

Açık Arşiv Koleksiyonu: AVESİS Açık Erişim Koleksiyonu

Özet:

Tez çalışmasında plazma destekli kimyasal buhar biriktirme yöntemiyle katı yağlayıcı filmlerden biri olan grafit sentezlenerek malzemelerin yüzey özelliklerini iyileştirmek için sürtünme katsayısı düşük ve aşınma direnci yüksek filmlerin elde edilmesi amaçlanmıştır.Bu çalışma üç temel aşamadan meydana gelmektedir. Sentezi tamamlanmış yüzeylerin tribolojik özelliğini tespit etmek için aşınma testleri yapılmış ve filmleri karakterize etmek için Raman, SEM, FTIR ve Temas açısı ölçüm cihazları ile analizler gerçekleştirilmiştir. Kaplama kalınlıkları ise büyütme süresi artmasına bağlı olarak artmıştır. Ayrıca grafitin yağlayıcı etkisi sebebi ile işlemsiz numuneye kıyasla sürtünme katsayısı daha düşük çıkmıştır.Elde edilen test sonuçlarına göre aşınma direnci yüksek ve sürtünme katsayısı düşük filmler elde edilmiştir. Ayrıca PECVD yönteminin grafit film büyütme için güvenilir bir yöntem olduğu ve iyi büyütmeler yaptığı sonucuna varılmıştır.