SILAR tekniği ile büyütülen ince filmlerin sandviç tipi devre elemanları yapımında kullanılması ve bu yapıların karakteristiklerinin incelenmesi

---

Tezin Türü: Doktora

Tezin Yürütüldüğü Kurum: Atatürk Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsü, Türkiye

Tezin Onay Tarihi: 2011

Öğrenci: Betül Güzeldir

Asıl Danışman (Eş Danışmanlı Tezler İçin): Mustafa SAĞLAM