Tezin Türü: Yüksek Lisans
Tezin Yürütüldüğü Kurum: Atatürk Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsü, Nanobilim ve Nanomühendislik Anabilim Dalı, Türkiye
Tezin Onay Tarihi: 2014
Tezin Dili: Türkçe
Öğrenci: Melik GÜL
Asıl Danışman (Eş Danışmanlı Tezler İçin): Hasan Efeoğlu
Açık Arşiv Koleksiyonu: AVESİS Açık Erişim Koleksiyonu
Özet:Bu çalışmada vakum ortamında Si alttaş üzerine termal buharlaştırma ile oluşturulan Au ince filmin plazma tabanlı ve kontrollü plazma tabanlı aşındırma çalışması gerçekleştirildi. Filmin kalınlığı AEP NanoMap500 profilometresi ile 194 nm ölçüldü. Au ince film tabakası düşük basınçta 600 V DC gerilim altında oluşturulan Ar plazma ile 1-12 dk arasında 11 farklı süre ile aşındırılarak Au için deneysel aşınma oranları elde edildi. Her numune için aşındırıcı iyon yoğunluğu akım/alan ilişkisinden hesaplanarak Ziegler, Yamamura & Tawara ve Matsunami teorik saçtırma modellerinden saçtırma verimi hesaplanmasında kullanıldı. Au için saçtırma verimi ve plazma akım yoğunluğu ile deneysel verilere karşılık teorik saçtırma derinlikleri hesaplandı. Deneysel aşınma derinliği ile teorik hesaplanma sonuçları karşılaştırıldığında deneysel sonuçlarımızla en uyumlu modelin Matsunami'ni teorik saçtırma modeli olduğu görüldü. Anahtar Kelimeler: Saçtırma, İyon Aşındırma, Plazma Aşındırma, Au