Tezin Türü: Yüksek Lisans
Tezin Yürütüldüğü Kurum: Atatürk Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsü, Elektrik Elektronik Mühendisliği Anabilim Dalı, Türkiye
Tezin Onay Tarihi: 2009
Tezin Dili: Türkçe
Öğrenci: Gökhan KEVEN
Asıl Danışman (Eş Danışmanlı Tezler İçin): Hasan Efeoğlu
Açık Arşiv Koleksiyonu: AVESİS Açık Erişim Koleksiyonu
Özet:Bu çalışmada elektronik malzeme üretiminde kullanılan DC reaktif magnetron sıçratma (DCRMS) sistemine enerji sağlayacak anahtarlamalı mod güç kaynağı tasarımı ve üretimi gerçekleştirildi. Bu tasarımda, DC-DC çevirici için anahtarlamalı mod tekniği kullanıldı. Üretilen güç kaynağında SMPS (Switch Mod Power Supply - Anahtarlamalı Mod Güç Kaynağı) teknolojisinden dolayı maksimum güç, minimum güç kaybı ile sağlanmaktadır. DC magnetron sistemi için akım-gerilim koruması ve yalıtım sağlanmıştır. Tasarım ve üretimi gerçekleştirilen güç kaynağı, magnetron sisteminde kullanılarak ZnO ince film üretimi ile test edildi. Üretilen ZnO ince filmlerin optik karekterizasyonu fotolümünesans (PL) tekniği kullanılarak yapıldı.