Geçiş metal oksit tabanlı ince film gaz sensörleri
Tezin Türü: Yüksek Lisans
Tezin Yürütüldüğü Kurum: Atatürk Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsü, KATIHAL FİZİĞİ ANABİLİM DALI, Türkiye
Tezin Onay Tarihi: 2025
Tezin Dili: Türkçe
Öğrenci: KÜBRA YAMAN
Danışman: Mutlu Kundakçı
Özet:Amaç: Bu tez çalışmasında, molibden trioksit (MoO₃) ince filmlere dayalı bir hidrojen gazı sensörü geliştirmeyi ve karakterize etmeyi amaçlamaktadır. MoO₃'nin yarı iletken özelliklerini kullanarak, çalışma, malzemenin gaz algılama performansını (özellikle duyarlılığını, seçiciliğini ve hidrojen gazına karşı tepki davranışını) çeşitli çalışma koşulları altında değerlendirmeye odaklanmaktadır. Çalışmanın amacı, hidrojen gazı algılamada uygulama için molibden trioksit (MoO₃) bazlı ince filmler üretmek ve araştırmak, hassasiyetlerine, seçiciliklerine ve tepki özelliklerine odaklanmaktır. Yöntem: Bu çalışmada , molibden trioksit (MoO₃) tabanlı ince filmler spin kaplama yöntemi kullanılarak üretildi. Öncelikle (MoO₃) çözeltisi hazırlanmasıyla başlanıldı. Tam çözünme ve homojenlik sağlamak için uygun miktarda molibden trioksit tozu, manyetik karıştırıcı altında etanol bazlı bir çözücüde çözüldü. Hazırlanan çözelti, ince film oluşturmak için kuartz altlıklar üzerine homojen bir şekilde dağıtıldı. Bulgular: Uygulama sonucunda spin kaplama yöntemi kullanılarak elde edilen molibden trioksit (MoO₃) tabanlı ince filmlerin H2 gazına karşı tepkileri gözlenmiştir. Sonuç: Pd ile katkılanmış MoO3 tabanlı H2 gaz sensörleri , 200°C'de ve 250°C'de 100ppm , 500ppm ve 1000 ppm de H2 gazına karşı tepkiler göstermiştir. Numune B için hesaplanan tepki sürelerinin hem 200°C'de hem de 250°C'de kararlı olduğu görülmektedir. Numune B için ppm değeri arttıkça tepki süreleri azalmıştır. Aynı şekilde 200°C sıcaklıkta Numune A ve Numune C'de de ppm değeri arttıkça tepki süreleri azalmıştır. 250°C sıcaklıkta tepki süreleri bakımından analiz edildiğinde ise numune A ve Numune C için bu kararlılık söz konusu değildir.