ZnO ince filminin gaz sensör özelliğinin incelenmesi

---

Tezin Türü: Yüksek Lisans

Tezin Yürütüldüğü Kurum: Atatürk Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsü, Fizik Anabilim Dalı, Türkiye

Tezin Onay Tarihi: 2012

Tezin Dili: Türkçe

Öğrenci: Ömer Çoban

Asıl Danışman (Eş Danışmanlı Tezler İçin): Sebahattin TÜZEMEN

Özet:

Bu çalışmanın ilk adımında, cam üzerine buharlaştırılmış InSe altlık üzerine elektrokimyasal olarak ZnO ince film üretilmiştir. Elektrokimyasal büyütme işlemi sırasında başlangıç sıcaklığı olarak 65oC belirlenmiş ve çözelti doğal olarak soğurken büyütme işlemi bir saat süreyle yapılmıştır. XRD ve AFM analizleri yapılarak üretilen ZnO'nun tane büyüklüğü (Grain size) ve yüzey görüntüsü hakkında bilgi edinilmiştir. Ag/ZnO'nun elektriksel karakterizasyonu I-V ölçümleriyle yapılmıştır. Yapılan Ag kontaklardan alınan I-V ölçümlerden kontakların ohmik karakterde olduğu gözlenmiştir. İkinci adımda gaz sensör test düzeneği kurulmuştur. Numunenin üzerine konduğu ısıtıcının kontrolü ve içerideki gazın dışarı atılması için kullanılan pompanın kontrolü NI USB 6259 Data Acquisition (DAQ) veri toplama kartı aracılığı ile sağlanmıştır. MFC'nin ve direnç ölçümü için kullanılan Keithley 199 dmm'nin kontrolü Labview programı yazılarak sağlanmıştır. Son olarak üretilen ZnO ince filmin O2 gazına, farklı sıcaklıklarda verdiği tepki incelenmiştir. ZnO'nun sıcaklık arttıkça O2 gazına verdiği tepkinin arttığı ve tekrar eski haline dönme süresinin giderek kısaldığı tespit edilmiştir. Ayrıca algılama süresi yüzeydeki kirlilik atomlarına bağlı olarak farklı davranış sergilediği gözlenmiştir.